半導体工学

Keywords: 半導体工学, CVD, PVD, イオン注入, エッチング, エピタキシャル成長, エレクトロニクス用語一覧, ホール効果, 半導体

半導体工学（はんどうたいこうがく）は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。

目次

1 設計 2 製造技術 3 性能評価 4 半導体を利用した計測 5 関連項目 6 外部リンク

設計

• 回路設計
• 設計の検証（シミュレーション）
• 製造用機器の設計

製造技術

• 拡散・酸化
• CVD
• PVD
• エピタキシャル成長
• イオン注入
• リソグラフィ（パターニング）
• エッチング
• メタライズ（配線）
• 製造時の欠陥検出
• ダイシング
• パッケージング（組立）

性能評価

• 寿命
• 信頼性

半導体を利用した計測

• ホール効果

関連項目

• 半導体
• 半導体素子
• 集積回路
• エレクトロニクス用語一覧

外部リンク

• 財団法人 新機能素子研究開発協会
• 社団法人 日本半導体製造装置協会

Keywords: 半導体工学, CVD, PVD, イオン注入, エッチング, エピタキシャル成長, エレクトロニクス用語一覧, ホール効果, 半導体